куда стремятся сканеры
https://pbs.twimg.com/media/GGkVLfYXgAAS_Rv?format=png&name=900x900

	Скрытый текст

а пояснительную бригаду можно ?

я так понимаю что Beyond EUV 6 nm @ 0.5 NA — это самый крутой варик ? что это такое, когда появится и что даст ?

а раньше я думал что Hyper-NA это максимум, при том как утверждали в ASML что даже и потенциально экономически не окупаемый ..

а что такое "LELE or SADP" ? многократное экспозирование ?